Die Prozesshierarchie nutzt die Beziehung „ist Teil von“ zur Strukturierung der Geschäftsprozesse von der ersten Ebene (z.B. Hauptprozesse) bis hin zur Ebene der Prozessaktivitäten. Gängige Bezeichnungen für die Elemente auf den verschiedenen Ebenen sind z.B. Hauptprozess, Teilprozess, Unterprozess oder Subprozess. In der Regel sind vier bis fünf Ebenen zur Darstellung der Prozesshierarchie notwendig.